Verfahren zur Festphasen-Rekristallisierung einer Dünnschicht Mithilfe eines Impulsfolgentemperverfahrens

EP2478553 Art A1 25. Juli 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2478553
Aktenzeichen: EP10817602
Anmeldetag: 14. Mai 2010
Veröffentlichung: 25. Juli 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/324H01L21/20H01L21/02C30B13/24C30B29/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von