Aromatisches Kohlenwasserstoffharz und Zusammensetzung zur Bildung eines Unterbeschichtungsfilms für die Lithographie

EP2479198 Art B1 17. Februar 2016

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2479198
Aktenzeichen: EP10817175
Anmeldetag: 14. September 2010
Veröffentlichung: 17. Februar 2016
Erteilung: 17. Februar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C08G10/02C08G61/10G03F7/11B01J31/06C07C67/14H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie Verfahrens- & Trenntechnik

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