Siliciumhaltige Zusammensetzung mit einer Sulfonamidgruppe zur Bildung einer Resistunterschichtfolie

EP2479615 Art B1 23. April 2014

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2479615
Aktenzeichen: EP10817078
Anmeldetag: 7. September 2010
Veröffentlichung: 23. April 2014
Erteilung: 23. April 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C08G77/28G03F7/26H01L21/027C09D183/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von