Verbesserte Selektivität in einem Xenon-Difluorid-Ätzverfahren

EP2480493 Art B1 1. Mai 2019

Anmelder: Memsstar Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2480493
Aktenzeichen
EP10768051
Anmeldetag
27. September 2010
Veröffentlichung
1. Mai 2019
Erteilung
1. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00H01L21/3065H01L21/3213
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Memsstar Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Fulton, David James Glasgow, Großbritannien
457
Patente gesamt
34
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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