Mikromechanisches Einstellbares Fabry-Perot-Interferometer und Herstellungsverfahren dafür
EP2480867
Art B1
20. September 2023
Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2480867
- Aktenzeichen
- EP10818467
- Anmeldetag
- 24. September 2010
- Veröffentlichung
- 20. September 2023
- Erteilung
- 20. September 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J3/26G02B5/08
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT - Land
- 🇫🇮 Finnland
🇫🇮
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VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.
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Berggren Oy · Helsinki