Mikromechanisches Einstellbares Fabry-Perot-Interferometer und Herstellungsverfahren dafür

EP2480867 Art B1 20. September 2023

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2480867
Aktenzeichen
EP10818467
Anmeldetag
24. September 2010
Veröffentlichung
20. September 2023
Erteilung
20. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01J3/26G02B5/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT
Land
🇫🇮 Finnland

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