Quelle-Kollektor-Anordnung, Lithografischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Anmelder: ASML Netherlands BV, Cymer, Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2480936
- Aktenzeichen
- EP10762638
- Anmeldetag
- 24. September 2010
- Veröffentlichung
- 18. März 2015
- Erteilung
- 18. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00G03F7/20C01B3/50G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands BV
Cymer, Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
390 Patente in unserer Datenbank
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
399 Patente in unserer Datenbank