Massenspektrometersystem

EP2481077 Art B1 3. April 2019

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2481077
Aktenzeichen
EP10757464
Anmeldetag
13. September 2010
Veröffentlichung
3. April 2019
Erteilung
3. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J49/24F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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