Optische Beleuchtungseinheit für Mikrolithografie

EP2483720 Art B1 17. Juni 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2483720
Aktenzeichen: EP10765402
Anmeldetag: 27. September 2010
Veröffentlichung: 17. Juni 2015
Erteilung: 17. Juni 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/09G21K1/06G02B5/30G21K1/16G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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