Optisches Reflexionselement und Verfahren für den Betrieb eines Euv-Lithografiegeräts

EP2483746 Art A1 8. August 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2483746
Aktenzeichen: EP10754928
Anmeldetag: 17. September 2010
Veröffentlichung: 8. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G21K1/06G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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