Verfahren zur Abscheiden von Al2O3/SiO2-Stapeln durch Aluminium- und Silizium-Vorläufer
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, Technische Universiteit Eindhoven 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2484801
- Aktenzeichen
- EP11305113
- Anmeldetag
- 7. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 23. August 2017
- Erteilung
- 23. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/455H01L21/314H01L21/02H01L31/0216H01L31/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Technische Universiteit Eindhoven - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
3.725 Patente in unserer Datenbank
Die Technische Universiteit Eindhoven ist eine niederländische Technische Hochschule mit breiter Forschung in Medizintechnik, Halbleitertechnik und Materialwissenschaften. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, Halbleiterbauelemente, Mess- und Softwaretechnik ab.
329 Patente in unserer Datenbank