Verfahren zur Abscheiden von Al2O3/SiO2-Stapeln durch Aluminium- und Silizium-Vorläufer
EP2484801
Art B1
23. August 2017
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, Technische Universiteit Eindhoven 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2484801
- Aktenzeichen
- EP11305113
- Anmeldetag
- 7. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 23. August 2017
- Erteilung
- 23. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/455H01L21/314H01L21/02H01L31/0216H01L31/18
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Technische Universiteit Eindhoven - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte