Verfahren zum Aufsetzen von Al2O3/SiO2-Stapeln, von Aluminium- und Silikonvorläufern
Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Technische Universiteit Eindhoven 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2484802
- Aktenzeichen
- EP11305114
- Anmeldetag
- 7. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 29. März 2017
- Erteilung
- 29. März 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/455H01L21/314H01L21/02H01L31/0216H01L31/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Technische Universiteit Eindhoven - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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Die Technische Universiteit Eindhoven ist eine niederländische Technische Hochschule mit breiter Forschung in Medizintechnik, Halbleitertechnik und Materialwissenschaften. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, Halbleiterbauelemente, Mess- und Softwaretechnik ab.
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