Verfahren zum Aufsetzen von Al2O3/SiO2-Stapeln, von Aluminium- und Silikonvorläufern

EP2484803 Art B1 29. März 2017

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, Technische Universiteit Eindhoven 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2484803
Aktenzeichen
EP11305115
Anmeldetag
7. Februar 2011
Veröffentlichung
29. März 2017
Erteilung
29. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/40C23C16/455H01L21/02H01L31/02H01L31/0216H01L31/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Technische Universiteit Eindhoven
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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