Druckanwendungsmodul, Druckanwendungsvorrichtung und Substratbindungsvorrichtung

EP2485244 Art A1 8. August 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2485244
Aktenzeichen: EP10818577
Anmeldetag: 28. September 2010
Veröffentlichung: 8. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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