Wiederaufbereitungsverfahren und Wiederaufbereitungsvorrichtung zur Wiederaufbereitung von Slurry-Abwasser aus einem Halbleiterbearbeitungsprozess, insbesondere aus einem Chemisch-Mechanischen Polierprozess
EP2485827
Art B1
25. Januar 2017
Anmelder: HighQ-Factory GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2485827
- Aktenzeichen
- EP10793144
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 25. Januar 2017
- Erteilung
- 25. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D61/16B01D61/14B24B37/04B24B57/02C02F1/44H01L21/321
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- HighQ-Factory GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Vertreten von
Bakhtyari, Arash
Berlin, Deutschland
22
Patente gesamt
12
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Michalski Hüttermann & Partner Patentanwälte mbB
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Michalski Hüttermann & Partner
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