Strukturformungsverfahren, Resistzusammensetzung für Chemische Verstärkung und Resistfilm

EP2486452 Art A1 15. August 2012

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2486452
Aktenzeichen: EP10822151
Anmeldetag: 5. Oktober 2010
Veröffentlichung: 15. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/038C08F220/10C08F232/04G03F7/004G03F7/32H01L21/027G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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