Lpp-Euv-Lichtquellenantriebslasersystem

EP2488002 Art B1 4. Mai 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2488002
Aktenzeichen: EP12158455
Anmeldetag: 27. Juni 2006
Veröffentlichung: 4. Mai 2016
Erteilung: 4. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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