Verfahren und System zur In-Situ-Bestimmung von Dickedaten Ultradünner Optischer Filme

EP2488824 Art A1 22. August 2012

Anmelder: Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2488824
Aktenzeichen
EP10823105
Anmeldetag
15. Oktober 2010
Veröffentlichung
22. August 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G01B11/06G01J3/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Teknologian Tutkimuskeskus VTT
Land
🇫🇮 Finnland
🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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