MEMS-Vorrichtung mit variabler Spaltbreite und Herstellungsverfahren

EP2489629 Art B1 8. April 2020

Anmelder: NXP USA, Inc., Freescale Semiconductor, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2489629
Aktenzeichen
EP12154287
Anmeldetag
7. Februar 2012
Veröffentlichung
8. April 2020
Erteilung
8. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00G01P15/08G01P15/125
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NXP USA, Inc.
Freescale Semiconductor, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 NXP USA

US-amerikanische Gesellschaft des Halbleiterkonzerns NXP, die Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation und Industrieelektronik entwickelt.

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