System zur Verwendung der Verbesserung von Verarbeitungskammern und Betriebsverfahren davon

EP2489759 Art B1 10. Dezember 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2489759
Aktenzeichen: EP11155238
Anmeldetag: 21. Februar 2011
Veröffentlichung: 10. Dezember 2014
Erteilung: 10. Dezember 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C03C17/00H01L21/67H01L21/677B05D7/00B05C13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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