Fotoelektronischer Positionsgeber

EP2489989 Art B1 15. November 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2489989
Aktenzeichen
EP12167432
Anmeldetag
13. Dezember 2005
Veröffentlichung
15. November 2017
Erteilung
15. November 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G01D5/36G01D5/38G01D5/347G01D5/244
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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