Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtigen Films mit mindestens einer Dünnen Schicht aus Kristallinem Silizium
EP2491576
Art B1
2. April 2014
Anmelder: Ecole Polytechnique, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2491576
- Aktenzeichen
- EP10785124
- Anmeldetag
- 15. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 2. April 2014
- Erteilung
- 2. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ecole Polytechnique
Centre National de la Recherche Scientifique - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Vertreten von
Reboussin, Yohann Mickaël Noël
Paris, Frankreich
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Coralis Harle
Coralis Harle · Paris