Selbstjustierte Barrieren- und Deckschichten für Leiterbahnstrukturen

EP2491579 Art B1 13. März 2019

Anmelder: President and Fellows of Harvard College 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2491579
Aktenzeichen
EP10773203
Anmeldetag
20. Oktober 2010
Veröffentlichung
13. März 2019
Erteilung
13. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/285H01L21/768H01L23/532C23C16/18C23C16/34C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
President and Fellows of Harvard College
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Harvard University

US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.

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