Abscheidung von indium-enthaltende dünnen Filmen unter Verwendung von Indium Alkylamid Vorläufer

EP2492272 Art A1 29. August 2012

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2492272
Aktenzeichen
EP11305189
Anmeldetag
23. Februar 2011
Veröffentlichung
29. August 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C07F5/00C23C14/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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