Modul für Modular Aufgebaute Reinraumanlagen

EP2494591 Art B1 31. Juli 2019

Anmelder: ASYS Automatic Systems GmbH & Co. KG, Hügler, Klaus 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2494591
Aktenzeichen
EP09765024
Anmeldetag
27. November 2009
Veröffentlichung
31. Juli 2019
Erteilung
31. Juli 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
ASYS Automatic Systems GmbH & Co. KG
Hügler, Klaus
Land
🇩🇪 Deutschland

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