Einrichtung und Verfahren zur Messung der Geschwindigkeit oder der Stromausbeute bei der Abscheidung oder beim Abtrag von Oberflächen und zur darauf basierenden Prozesssteuerung
Anmelder: Somonic Solutions GmbH, Technische Universität Dresden 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2495357
- Aktenzeichen
- EP11190813
- Anmeldetag
- 25. November 2011
- Veröffentlichung
- 8. Oktober 2014
- Erteilung
- 8. Oktober 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C25D21/12C23C18/16G01G3/16C25F7/00C25D21/14
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein Verfahren zur Messung der Geschwindigkeit oder der Stromausbeute bei der Abscheidung oder beim Abtrag von Oberflächen bei dem ein stabförmiger Sensor in longitudinale Schwingungen versetzt wird und aus der Auswertung der Verschiebung der Eigenfrequenz bei Masseänderung des Stabes ein zeitlicher Verlauf der abgeschiedenen oder abgetragenen Masse am Sensor fortlaufend ermittelt wird.
Anmelder
- Firmen
- Somonic Solutions GmbH
Technische Universität Dresden - Land
- 🇩🇪 Deutschland
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Lippert, Stachow & Partner
Lippert, Stachow & Partner · Dresden