Dreidimensionale Steuervorrichtung für Direktionale Drift und Mikroskopvorrichtung damit

EP2495592 Art A1 5. September 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2495592
Aktenzeichen
EP10799826
Anmeldetag
13. Juli 2010
Veröffentlichung
5. September 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/28G02B21/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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