Antenne zur Erzeugung von Oberflächenwellenplasma und Verarbeitungsvorrichtung für Oberflächenwellenplasma

EP2495749 Art A1 5. September 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2495749
Aktenzeichen: EP12157889
Anmeldetag: 2. März 2012
Veröffentlichung: 5. September 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C16/27

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von