Fokustestmaske, Fokusmessverfahren, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren

EP2498129 Art A1 12. September 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2498129
Aktenzeichen: EP10828318
Anmeldetag: 4. November 2010
Veröffentlichung: 12. September 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/44G01B11/00G03F7/20H01L21/027G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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