Plasma-Cvd-Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Siliziumdünnschicht

EP2498278 Art A1 12. September 2012

Anmelder: Toray Industries, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2498278
Aktenzeichen
EP10826595
Anmeldetag
21. Oktober 2010
Veröffentlichung
12. September 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205C23C16/24C23C16/505H01L31/04H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Toray Industries, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toray Industries

Japanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Tokio. Toray entwickelt Kohlefasern, synthetische Fasern, Kunststoffe, Chemikalien sowie Materialien für Textil-, Automobil-, Elektronik- und Luftfahrtindustrie.

3.791 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Hager, Thomas Johannes München, Deutschland
974
Patente gesamt
33
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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