DRAM mit Grabenkondensatoren und mit einer Substratvorspannung versehene Logiktransistoren integriert auf einem eine intrinsische Halbleiterschicht enthaltenden SOI-Substrat und entsprechendes Herstellungsverfahren
EP2498280
Art B1
29. April 2020
Anmelder: Soitec 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2498280
- Aktenzeichen
- EP11290126
- Anmeldetag
- 11. März 2011
- Veröffentlichung
- 29. April 2020
- Erteilung
- 29. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/84H01L27/12H01L27/108H01L21/762H01L29/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Soitec
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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