DRAM mit Grabenkondensatoren und mit einer Substratvorspannung versehene Logiktransistoren integriert auf einem eine intrinsische Halbleiterschicht enthaltenden SOI-Substrat und entsprechendes Herstellungsverfahren

EP2498280 Art B1 29. April 2020

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2498280
Aktenzeichen
EP11290126
Anmeldetag
11. März 2011
Veröffentlichung
29. April 2020
Erteilung
29. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/84H01L27/12H01L27/108H01L21/762H01L29/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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