Chemisch-Mechanische Reinigungsflüssigkeit sowie Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats und Reinigungsverfahren mit Dieser Reinigungsflüssigkeit

EP2500928 Art A1 19. September 2012

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2500928
Aktenzeichen: EP10829776
Anmeldetag: 14. September 2010
Veröffentlichung: 19. September 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105B24B37/04C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von