Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Substrates
EP2501836
Art B1
12. Oktober 2016
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Singulus Technologies AG, Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2501836
- Aktenzeichen
- EP10782586
- Anmeldetag
- 19. November 2010
- Veröffentlichung
- 12. Oktober 2016
- Erteilung
- 12. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34C23C14/52H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Singulus Technologies AG
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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Vertreten von
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