Verfahren zur Plasmaätzung und Plasmakammerreinigung unter Verwendung von F2 und COF2
EP2501837
Art A1
26. September 2012
Anmelder: SOLVAY SA 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2501837
- Aktenzeichen
- EP10771135
- Anmeldetag
- 28. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 26. September 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23G5/00B08B7/00H01J37/32C23F4/00H01L21/3213H01L21/3065H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SOLVAY SA
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
Solvay
Belgischer Chemiekonzern mit Sitz in Brüssel, tätig in den Bereichen Spezialchemikalien, Materialien und Kunststoffe für Industrie und Konsumgüter. Das Unternehmen wurde 1863 gegründet.
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Vertreten von
Mross, Stefan P.M
Bruxelles, Belgien
294
Patente gesamt
21
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte