Siliziumschichten aus Polymermodifizierten Flüssigsilan-Formulierungen

EP2501840 Art A2 26. September 2012

Anmelder: Evonik Degussa GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2501840
Aktenzeichen: EP10768480
Anmeldetag: 18. Oktober 2010
Veröffentlichung: 26. September 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/14C23C18/12C07F7/08H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Evonik Degussa GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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