Verfahren zur Herstellung von Siliciumschichten

EP2501841 Art B1 25. Oktober 2017

Anmelder: Evonik Degussa GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2501841
Aktenzeichen: EP10781639
Anmeldetag: 10. November 2010
Veröffentlichung: 25. Oktober 2017
Erteilung: 25. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/14C23C18/12H01L21/02C08G77/60C09D183/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Evonik Degussa GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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