Verfahren zur Herstellung Dotierter Siliciumschichten, nach dem Verfahren Erhältliche Siliciumschichten und Ihre Verwendung

EP2502262 Art A1 26. September 2012

Anmelder: Evonik Degussa GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2502262
Aktenzeichen: EP10776681
Anmeldetag: 10. November 2010
Veröffentlichung: 26. September 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/228H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Evonik Degussa GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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