Erweiterte Laserwellenlängensteuerung

EP2502317 Art B1 16. Oktober 2019

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2502317
Aktenzeichen: EP10831986
Anmeldetag: 4. November 2010
Veröffentlichung: 16. Oktober 2019
Erteilung: 16. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/098

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von