Verfahren zur Lagerung eines Lanthanoxid-Targets und Vakuumverpacktes Lanthanoxid-Target
EP2503020
Art B1
26. November 2014
Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2503020
- Aktenzeichen
- EP10831401
- Anmeldetag
- 5. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 26. November 2014
- Erteilung
- 26. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34C23C14/08H01L21/28H01L21/285H01L21/316C04B35/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JX Nippon Mining & Metals Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JX Nippon Mining & Metals
JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.
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Vertreten von
Hoarton, Lloyd Douglas Charles
München, Deutschland
1.651
Patente gesamt
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Fachgebiete
27
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