Verfahren zum Ätzen einer mit Zinn oder einer Zinnlegierung gefüllten vertieften Struktur

EP2503029 Art B1 20. März 2013

Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2503029
Aktenzeichen
EP11159179
Anmeldetag
22. März 2011
Veröffentlichung
20. März 2013
Erteilung
20. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23F1/40H01L21/306H01L21/3213H05K3/00C23F1/44// C23F1/02H01L21/00H05K3/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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