Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung, Polymer und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP2503392 Art B1 15. April 2015

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2503392
Aktenzeichen: EP10831562
Anmeldetag: 16. November 2010
Veröffentlichung: 15. April 2015
Erteilung: 15. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C08L33/14C08L101/00C08F220/22G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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