Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung mittels einer Mischung aus einer Säure und einem Oxidierenden Gas
EP2507817
Art A2
10. Oktober 2012
Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2507817
- Aktenzeichen
- EP10832728
- Anmeldetag
- 5. November 2010
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311G03F7/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte