Prüfvorrichtung, Messverfahren für eine Dreidimensionale Form und Herstellungsverfahren für eine Struktur

EP2508871 Art A1 10. Oktober 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2508871
Aktenzeichen: EP10832824
Anmeldetag: 18. November 2010
Veröffentlichung: 10. Oktober 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/245G01B11/25G01N21/88G01N21/956G06T7/00G06T7/521G06T7/586

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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