Optisches Element für die Euv-Lithographie und Verfahren zur Herstellung eines auf einer Reflektierenden Schicht Aufgebrachten Substrats für die Euv-Lithographie
EP2509102
Art A1
10. Oktober 2012
Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2509102
- Aktenzeichen
- EP10834673
- Anmeldetag
- 3. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G02B5/08G03F1/16G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Asahi Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
AGC (Asahi Glass)
Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.
7.331 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hock, Joachim
München, Deutschland
88
Patente gesamt
24
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB
Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB · München