Elektromechanischer Wandler und Herstellungsverfahren dafür
EP2509125
Art B1
28. Februar 2018
Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2509125
- Aktenzeichen
- EP12159811
- Anmeldetag
- 16. März 2012
- Veröffentlichung
- 28. Februar 2018
- Erteilung
- 28. Februar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L41/09H01L41/08H01L41/316H01L41/332
Abstract
An electromechanical transducer includes a first electrode (13); a silicon oxide film disposed on the first electrode (13); and a vibration film including a silicon nitride film disposed on the silicon oxide film with a space therebetween and a second electrode (4) disposed on the silicon nitride film so as to oppose the first electrode (13).
Anmelder
- Firma
- Canon Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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