Abscheidungsvorrichtung zur Herstellung von Dünnfilm

EP2511395 Art A3 18. Februar 2015

Anmelder: SNU Precision Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2511395
Aktenzeichen
EP12163927
Anmeldetag
12. April 2012
Veröffentlichung
18. Februar 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/12C23C14/24C23C14/26C23C14/54H05B33/10C23C14/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SNU Precision Co., Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea

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