Mehrschichtiger Spiegel für die Euv-Lithographie und Herstellungsverfahren dafür

EP2511945 Art A1 17. Oktober 2012

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2511945
Aktenzeichen
EP10836046
Anmeldetag
9. Dezember 2010
Veröffentlichung
17. Oktober 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/08G03F1/24G03F7/20B82Y10/00B82Y40/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Asahi Glass Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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