Recyclingmethode eines Quellsubstrats

EP2511951 Art A1 17. Oktober 2012

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2511951
Aktenzeichen
EP12154294
Anmeldetag
7. Februar 2012
Veröffentlichung
17. Oktober 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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