Verfahren zur Herstellung von Indiumoxid-Haltigen Schichten, nach dem Verfahren Hergestellte Indiumoxid-Haltige Schichten und Ihre Verwendung

EP2513355 Art B1 23. August 2017

Anmelder: Evonik Degussa GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2513355
Aktenzeichen: EP10785038
Anmeldetag: 25. November 2010
Veröffentlichung: 23. August 2017
Erteilung: 23. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/06C23C18/14H01L21/02H01L51/00C23C18/12

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Evonik Degussa GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

5.888 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von