Optisches Reflexionselement für Euv-Lithographie

EP2513686 Art B1 10. April 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2513686
Aktenzeichen
EP10796337
Anmeldetag
13. Dezember 2010
Veröffentlichung
10. April 2019
Erteilung
10. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/08G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Optik & Fototechnik
Vertreten von
Werner, Anne-Estelle Münster, Deutschland
19
Patente gesamt
13
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Medizintechnik & Gesundheit Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter
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