Vorrichtung und Verfahren zur Flüssigbehandlung Waferförmiger Artikel
EP2513954
Art A2
24. Oktober 2012
Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2513954
- Aktenzeichen
- EP10837141
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302H01L21/67H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
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